通常，高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛（純度），微量水份（干燥度）污染物粒子的婁量保持在最低限度，其粒度也應(yīng)是最小的（潔凈度）。因此，對(duì)于高純氣體，純度、干燥度、潔凈是三項(xiàng)重要的標(biāo)度。 特別是近10年來(lái)，隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)，對(duì)高純氣體潔凈度的要求，其重要程度已不亞于對(duì)純度和干燥度有嚴(yán)格要求的用氣工藝，無(wú)一不對(duì)其中的粒子提出限制。